Силан (SiH4)

Техникалық параметрлер

Силан - кремний мен сутегінің қосылысы. Бұл моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) және кейбір жоғары деңгейлі кремний-сутегі қосылыстарын қоса алғанда, қосылыстар сериясы үшін жалпы термин. Олардың ішінде моносилан ең көп таралған, кейде қысқаша силан деп аталады. Силан - сарымсақтың жиіркенішті иісі бар түссіз газ. Суда ериді, этанолда, эфирде, бензолда, хлороформда, кремний хлороформында және кремний төртхлоридінде ерімейді. Силандардың химиялық қасиеттері алкандарға қарағанда әлдеқайда белсенді және оңай тотығады. Ауамен байланыста болған кезде өздігінен жану пайда болуы мүмкін. Ол 25°С төмен азотпен әрекеттеспейді, бөлме температурасында көмірсутекті қосылыстармен әрекеттеспейді. Силанның өрті мен жарылуы оттегімен реакцияның нәтижесі болып табылады. Силан оттегі мен ауаға өте сезімтал. Белгілі бір концентрациясы бар силан да -180°С температурада оттегімен жарылыс реакциясына түседі. Силан жартылай өткізгішті микроэлектроника процестерінде қолданылатын ең маңызды арнайы газға айналды және әртүрлі микроэлектрондық пленкаларды, соның ішінде монокристалды қабықшаларды, микрокристалды, поликристалды, кремний оксиді, кремний нитриді және металл силицидтерін дайындауда қолданылады. Силанның микроэлектрондық қосымшалары әлі де терең дамып келеді: төмен температуралық эпитаксия, селективті эпитаксия және гетероэпитаксиалды эпитаксия. Кремний құрылғылары мен кремний интегралдық схемалары үшін ғана емес, сонымен қатар құрама жартылай өткізгіш құрылғылар үшін (галий арсениді, кремний карбиді және т.б.). Сондай-ақ оның суперторлы кванттық ұңғыма материалдарын дайындауда қолданбалары бар. Силан қазіргі уақытта барлық дерлік дамыған интегралды схемалар өндірісінде қолданылады деп айтуға болады. Силанды кремнийі бар пленка және жабын ретінде қолдану дәстүрлі микроэлектроника өнеркәсібінен болат, машина жасау, химия және оптика сияқты әртүрлі салаларға дейін кеңейді. Силанның тағы бір әлеуетті қолданылуы жоғары өнімді керамикалық қозғалтқыш бөлшектерін жасау болып табылады, әсіресе силицидтерді (Si3N4, SiC және т.б.) микроұнтақ технологиясын өндіру үшін силанды пайдалану барған сайын көбірек назар аударды.

Қолдану:

①Электронды:

Силан жартылай өткізгіштер мен тығыздағыштарды өндіру кезінде кремний пластиналарындағы поликристалды кремний қабаттарына қолданылады.

②Күн:

Силан күн фотоэлектрлік модульдерін өндіруде қолданылады.

③Өнеркәсіптік:

Ол энергияны үнемдейтін жасыл әйнекте қолданылады және жұқа қабықшаны бумен тұндыру процесіне қолданылады.

Қалыпты пакет:

Артықшылығы:

①Нарықта он жылдан астам уақыт;

②ISO сертификатын өндіруші;

③Жылдам жеткізу;

④Тұрақты шикізат көзі;

⑤Әр қадамда сапаны бақылауға арналған on-line талдау жүйесі;

⑥Жоғары талап және толтыру алдында цилиндрді өңдеудің мұқият процесі;

⑦Тазалық: жоғары тазалық электронды сорт;

⑧Қолданылуы: күн батареясының материалдары; жоғары тазалықтағы полисилиций, кремний тотығы және оптикалық талшық жасау; түсті шыны өндірісі.