Силанкремний мен сутегі қосылысы болып табылады және қосылыстар қатары үшін жалпы термин. Силан негізінен моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) және жалпы формуласы SinH2n+2 болатын кейбір жоғары деңгейлі кремний сутегі қосылыстарын қамтиды. Дегенмен, нақты өндірісте біз әдетте моносиланды (SiH4 химиялық формуласы) «силан» деп атаймыз.

Электрондық деңгейсилан газынегізінен кремний ұнтағын, сутегін, төрт хлорлы кремнийді, катализаторды және т.б әртүрлі реакциялық айдау және тазарту арқылы алынады.Тазалығы 3Н-ден 4Н-ге дейінгі силанды өнеркәсіптік силан деп атайды, ал тазалығы 6Н-ден жоғары силанды электронды сұрыпты силанды газ деп атайды.

Кремний компоненттерін тасымалдауға арналған газ көзі ретінде,силан газыжоғары тазалығы мен жақсы бақылауға жету қабілетіне байланысты көптеген басқа кремний көздерімен алмастырылмайтын маңызды ерекше газға айналды. Моносилан пиролиз реакциясы арқылы кристалды кремнийді тудырады, бұл қазіргі уақытта әлемде түйіршіктелген монокристалды кремний мен поликристалды кремнийді ауқымды өндіру әдістерінің бірі болып табылады.

Силанның сипаттамалары

Силан (SiH4)ауамен әрекеттесетін және тұншығуды тудыратын түссіз газ. Оның синонимі - кремний гидриді. Силанның химиялық формуласы SiH4 және оның мөлшері 99,99% құрайды. Бөлме температурасында және қысымда силан жағымсыз иісті улы газ болып табылады. Силанның балқу температурасы -185 ℃, қайнау температурасы -112 ℃. Бөлме температурасында силан тұрақты, бірақ 400 ℃ дейін қыздырғанда ол газ тәрізді кремний мен сутегіге толығымен ыдырайды. Силан тұтанғыш және жарылғыш болып табылады және ол ауада немесе галоген газында жарылғыш күйіп кетеді.

Қолданба өрістері

Силанның қолдану аясы кең. Күн батареяларын өндіру кезінде кремний молекулаларын жасуша бетіне бекітудің ең тиімді әдісі болумен қатар, ол жартылай өткізгіштер, жалпақ панельдік дисплейлер және қапталған шыны сияқты өндірістерде кеңінен қолданылады.

Силанжартылай өткізгіш өнеркәсібінде монокристалды кремний, поликристалды кремний эпитаксиалды пластиналар, кремний диоксиді, кремний нитриді және фосфосиликат шыны сияқты химиялық бу тұндыру процестерінің кремний көзі болып табылады және күн батареяларын, кремнийлі көшірме шыныларын, арнайы оптикалық талшықтарды және фотоэлектрлік датчиктерді өндіру мен дамытуда кеңінен қолданылады.

Соңғы жылдары көптеген жаңа технологиялардың, жаңа материалдардың және жаңа құрылғылардың негізіне айналған алдыңғы қатарлы керамика, композициялық материалдар, функционалдық материалдар, биоматериалдар, жоғары энергиялық материалдар және т.б. өндіруді қоса алғанда, силандардың жоғары технологиялық қосымшалары әлі де пайда болуда.