Электрондықарнайы газдарарнайы газдардың маңызды саласы болып табылады. Олар жартылай өткізгіштер өндірісінің барлық дерлік буынына енеді және аса ірі интегралды схемалар, жалпақ панельді дисплей құрылғылары және күн батареялары сияқты электронды өнеркәсіптерді өндіру үшін таптырмас шикізат болып табылады.

Жартылай өткізгіш технологиясында фтор құрамдас газдар кеңінен қолданылады. Қазіргі уақытта әлемдік электрондық газ нарығында фтор құрамдас электрондық газдар жалпы көлемнің шамамен 30%-ын құрайды. Фтор құрамдас электрондық газдар электрондық ақпараттық материалдар саласындағы арнайы электрондық газдардың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Олар негізінен тазартқыш және өңдеу агенттері ретінде қолданылады, сондай-ақ қоспалар, пленка түзетін материалдар және т.б. ретінде де қолданыла алады. Бұл мақалада автор сізді фтор құрамдас газдардың кең таралған түрлерімен таныстырады.

Төменде фтор құрамдас газдар жиі қолданылады

Азот трифториді (NF3): шөгінділерді тазалау және кетіру үшін қолданылатын газ, әдетте реакция камералары мен жабдық беттерін тазалау үшін қолданылады.

Күкірт гексафториді (SF6)Тотық тұндыру процестерінде және оқшаулағыш ортаны толтыруға арналған оқшаулағыш газ ретінде қолданылатын фторлағыш агент.

Сутегі фториді (HF): Кремний бетінен оксидтерді кетіру үшін және кремний мен басқа материалдарды өңдеуге арналған охратқыш ретінде қолданылады.

Азот фториді (NF): Кремний нитриді (SiN) және алюминий нитриді (AlN) сияқты материалдарды өңдеу үшін қолданылады.

Трифторметан (CHF3) жәнететрафторметан (CF4): Кремний фториді және алюминий фториді сияқты фторлы материалдарды өңдеу үшін қолданылады.

Дегенмен, құрамында фтор бар газдардың уыттылық, коррозиялық және тұтанғыштық сияқты белгілі бір қауіптері бар.

Уыттылық

Кейбір фтор бар газдар, мысалы, сутегі фториді (HF) улы, оның буы теріні және тыныс алу жолдарын қатты тітіркендіреді және адам денсаулығына зиянды.

Коррозияға төзімділік

Сутегі фториді және кейбір фторидтер өте коррозиялық және теріге, көзге және тыныс алу жолдарына ауыр зақым келтіруі мүмкін.

Тұтанғыштық

Кейбір фторидтер тұтанғыш және ауадағы оттегімен немесе сумен әрекеттесіп, қатты жылу мен улы газдарды бөліп шығарады, бұл өртке немесе жарылысқа әкелуі мүмкін.

Жоғары қысым қаупі

Кейбір фторланған газдар жоғары қысым кезінде жарылғыш болып келеді және оларды пайдалану және сақтау кезінде ерекше күтімді қажет етеді.

Қоршаған ортаға әсері

Фтор құрамдас газдардың атмосфералық өмір сүру ұзақтығы мен ЖЖҚ мәндері жоғары, олар атмосфераның озон қабатына зиянды әсер етеді және жаһандық жылыну мен қоршаған ортаның ластануына әкелуі мүмкін.

Электроника сияқты дамып келе жатқан салаларда газдарды қолдану тереңдей түсуде, бұл өнеркәсіптік газдарға деген жаңа сұраныстың көптігін тудырады. Алдағы бірнеше жылда Қытайдың құрлықтық бөлігіндегі жартылай өткізгіштер мен дисплей панельдері сияқты негізгі электрондық компоненттердің жаңа өндірістік қуаттарының көптігіне, сондай-ақ электрондық химиялық материалдардың импортты алмастыруына деген жоғары сұранысқа негізделген отандық электронды газ өнеркәсібі жоғары өсу қарқынын қамтамасыз етеді.