ЭлектрондыАрнайы газдарарнайы газдардың маңызды саласы болып табылады. Олар жартылай өткізгіш өндірісінің барлық сілтемелеріне еніп, электронды өндірістер өндірісі үшін, мысалы, ультра ауқымды интегралды схемалар, жалпақ панельді дисплей және күн батареялары сияқты электронды өндірістер өндірісі үшін ажырамас шикізат болып табылады.

Жартылай өткізгіш технологияларда фторлы газдар кеңінен қолданылады. Қазіргі уақытта ғаламдық электрондық газ нарығында фторлы электронды газдар барлығы 30% құрайды. Құрамында фторлы электронды газдар электрондық ақпараттық материалдар саласындағы арнайы электрондық газдардың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Олар негізінен тазарту агенттері ретінде пайдаланылады және агенттерді игереді, сонымен қатар допорттар, кинокациялық материалдар және т.б., сондай-ақ, осы мақалада, фторлы газдарды түсінуге, сондай-ақ пайдалануға болады.

Төменде көрсетілген, құрамында фторлы газдар қолданылады

Азотты трифторид (NF3): реакция камералары мен жабдықтар беттерін тазалау үшін пайдаланылатын газды тазарту және жою үшін пайдаланылатын газ.

Күкірт гексафториді (SF6): Оксидті тұндыру процестерінде және оқшаулағыш бұйымдарды толтыруға арналған оқшаулағыш газ ретінде қолданылатын фторлинциялық агент.

Сутегі фториді (HF): кремний бетінен оксидтерді және кремнийді және басқа материалдарды алу үшін этчент ретінде қолданылады.

Азот фториді (NF): кремний нитриді (SIN) және алюминий нитридi (ALN) сияқты материалдарды алу үшін қолданылады.

Трифлюорометан (CHF3) жәнеTetraFluorMethane (CF4): Флориді материалдарды Silicon Floride және алюминий фторид сияқты ETCHED.

Алайда, фторлы газдарда белгілі бір қауіптер, оның ішінде уыттылық, коррозелятивтілік және жанғыштық бар.

Уыттылық

Құрамында фторлы газдар, мысалы, сутегі фторы (HF), мысалы, гидроген фториді (HF), олардың буы теріге және тыныс жолдарына және адам денсаулығына зиянды.

Коррозеляция

Сутегі фторидтері мен кейбір фторидтер өте коррозияға ұшырайды және теріге, көзге және тыныс жолдарына айтарлықтай зиян келтіруі мүмкін.

Жасанды

Кейбір фторидтер жанғыш және ауада оттегімен немесе суға әсер етеді, бұл қатты жылу мен улы газдар шығарады, бұл өртке немесе жарылыс тудыруы мүмкін қарқынды жылу мен улы газдар шығарады.

Жоғары қысымды қауіп

Кейбір фторланған газдар жоғары қысыммен жарылып, қолданылған және сақталған кезде ерекше күтімді қажет етеді.

Қоршаған ортаға әсер ету

Фторлы газдарда атмосфералық өмір сүру және атмосфералық құндылықтар бар, олар атмосфералық озон қабатына деструктивті әсер етеді және жаһандық жылыну мен қоршаған ортаның ластануына әкелуі мүмкін.

Дамып келе жатқан салалардағы газдардың қолданылуы электроника сияқты дамуды жалғастыруда, өндірістік газдарға көп сұранысқа ие. Алдағы бірнеше жылда Жартылай өткізгіштер және материкстеуіштер сияқты ірі электронды компоненттердің жаңа өндірістік қуаттылығы, мысалы, алдағы жылдары, сондай-ақ КОН-нің материттері, сондай-ақ электронды химиялық материалдарды алмастыруға деген сұраныс жоғары өсу қарқынымен салыстырылады.