Электрондықарнайы газдарарнайы газдардың маңызды саласы болып табылады. Олар жартылай өткізгіш өндірісінің барлық дерлік буындарына енеді және ультра ауқымды интегралды схемалар, жалпақ панельді дисплей құрылғылары және күн батареялары сияқты электронды өнеркәсіптерді өндіру үшін таптырмас шикізат болып табылады.

Жартылай өткізгіш технологияда құрамында фтори бар газдар кеңінен қолданылады. Қазіргі уақытта ғаламдық электронды газ нарығында құрамында фтори бар электрондық газдар жалпы көлемнің шамамен 30% құрайды. Құрамында фтори бар электрондық газдар электрондық ақпараттық материалдар саласындағы арнайы электрондық газдардың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Олар, негізінен, тазартқыш және қышқыл агенттер ретінде пайдаланылады, сондай-ақ қоспалар, пленка түзетін материалдар және т.б. ретінде пайдаланылуы мүмкін. Бұл мақалада автор сізге фторы бар жалпы газдарды түсінуге бағыттайды.

Төменде жиі қолданылатын фторы бар газдар

Азот трифториді (NF3): шөгінділерді тазалау және жою үшін пайдаланылатын газ, әдетте реакция камералары мен жабдық беттерін тазалау үшін қолданылады.

Күкірт гексафториді (SF6): Тотықты тұндыру процестерінде және оқшаулағыш ортаны толтыру үшін оқшаулағыш газ ретінде қолданылатын фторлайтын агент.

Фторид сутегі (HF): кремний бетінен оксидтерді кетіру үшін және кремнийді және басқа материалдарды сыдырмалау үшін қолданылады.

Азот фториді (NF): кремний нитриді (SiN) және алюминий нитриді (AlN) сияқты материалдарды өңдеу үшін қолданылады.

Трифторметан (CHF3) жәнететрафторметан (CF4): кремний фториді және алюминий фториді сияқты фторидті материалдарды ою үшін қолданылады.

Дегенмен, құрамында фтор бар газдардың белгілі бір қауіптері бар, соның ішінде уыттылық, коррозия және тұтанғыштық.

Уыттылық

Құрамында фтори бар кейбір газдар улы болып табылады, мысалы, фторид сутегі (HF), олардың буы теріні және тыныс алу жолдарын қатты тітіркендіреді және адам денсаулығына зиян келтіреді.

Коррозиялық

Фторид сутегі және кейбір фторидтер жоғары коррозиялық болып табылады және теріге, көзге және тыныс алу жолдарына елеулі зақым келтіруі мүмкін.

Тұтанғыштық

Кейбір фторидтер тұтанғыш және ауадағы оттегімен немесе сумен әрекеттесіп, қарқынды жылу мен улы газдарды шығарады, бұл өрт немесе жарылыс тудыруы мүмкін.

Жоғары қысым қаупі

Кейбір фторлы газдар жоғары қысымда жарылғыш болып табылады және оларды пайдалану және сақтау кезінде ерекше күтімді қажет етеді.

Қоршаған ортаға әсері

Құрамында фтор бар газдардың атмосфералық озон қабатына жойқын әсер ететін және жаһандық жылыну мен қоршаған ортаның ластануын тудыруы мүмкін жоғары атмосфералық өмір сүру ұзақтығы мен GWP мәндері бар.

Газдарды электроника сияқты дамып келе жатқан салаларда қолдану тереңдей түсуде, бұл өнеркәсіптік газдарға жаңа сұраныстың үлкен көлемін тудырады. Алдағы бірнеше жылда материктік Қытайда жартылай өткізгіштер мен дисплей панельдері сияқты негізгі электрондық компоненттердің жаңа өндірістік қуатының үлкен көлеміне, сондай-ақ электронды химиялық материалдардың импортын алмастыруға деген күшті сұранысқа негізделген отандық электронды газ өнеркәсібі жоғары өсу қарқыны.