Вольгстен гексафториді (WF6) вафлидің бетінде CVD процесі, металл араласу траншеяларын толтырады және қабаттар арасында металлдың өзара байланысын қалыптастырады.
Алдымен плазма туралы сөйлесейік. Плазма - бұл негізінен ақысыз электрондардан және зарядталған иондардан тұратын заттардың формасы. Ол ғаламда кеңінен бар және көбінесе заттың төртінші жағдайы ретінде қарастырылады. Ол «плазма» деп аталатын плазма мемлекеті деп аталады. Плазманың электр өткізгіштігі жоғары және электромагниттік өріспен муфты әсері бар. Бұл электрондардан, иондардан, еркін радикалдардан, бейтарап бөлшектерден және фотондардан тұратын жартылай иондалған газ. Плазманың өзі - бұл физикалық және химиялық белсенді бөлшектері бар электрлік бейтарап қоспалар.
Тікелей түсіндіру - жоғары энергияның әсерінен, молекула ван дер в-Вальян күштерін, химиялық құрамға және кулонның күш-жігерін жеңіп, тұтастай алғанда бейтарап электр қуатын ұсынады. Сонымен бірге, сыртқы жағынан жоғары энергия жоғары энергияны жеңіп алды. Функция, электрондар және иондар, ол магнитүстің модуляциясы бойынша жасанды түрде қолданылатын, мысалы, жартылай өткізгішті, CVD процесі, CVD, PVD және IMP процесі.
Жоғары қуат дегеніміз не? Теорияда жоғары температуралы және жоғары жиілікті РФ қолдануға болады. Жалпы, жоғары температурада, жоғары температураға қол жеткізу мүмкін емес. Бұл температураның талабы тым жоғары және күннің температурасына жақын болуы мүмкін. Бұл процессте қол жеткізу мүмкін емес. Сондықтан, сала, әдетте, оған жету үшін жоғары жиілікті РФ қолданады. Плазма РФ 13 МГц + деңгейіне жетуі мүмкін.
Вольфрам Гексафториді электр өрісінің әсерінен плазмаланады, содан кейін буын-магнит өрісі арқылы буланған. Втомдар қысқы қаз қауырсындарына ұқсас және ауырлық күшінің астында жерге түседі. Жайлап, атомдар саңылауларға түсіп, ақыры металл консолондарын қалыптастыру үшін тесіктер арқылы толды. WOMAS-тен тесіктерден басқа, олар вафлидің бетінде де сақталады ма? Ия, сөзсіз. Жалпы, сіз W-CMP процесін қолдана аласыз, ол біз механикалық тегістеу процесін алып тастау үшін пайдаланамыз. Ол қатты қардан кейін еденді сүрту үшін сыпырғышты қолдануға ұқсас. Жердегі қар жауып, жердегі тесік қалады. Төмен, шамамен бірдей.
POST TIME: Dec-24-2021
