Күкірт гексафториді - бұл жоғары вольтты доғалары бар газ және трансформаторлар, жоғары вольтты электр беру желілері, трансформаторлар, трансформаторлар және т.б. Электрондық деңгейдегі күкірт гексафториді - бұл микроэлектроника технологиясы саласында кеңінен қолданылатын тамаша электронды этчент. Бүгінгі таңда NIU Ruide арнайы газ редакторы Юүйеуі Күкірт гексафторидін кремний Нитридті кремнийде қолдануға және әртүрлі параметрлердің әсерін енгізеді.
SIFM PLASMA PLASMA PLASMA PLASMA PLASMA PLASMA, сонымен қатар SINX-тің TFT-нің және плазмалық радиацияның өзгеруін талқылайды және плазмалық радиацияны қолдану, SF6 / HE / O2 плазмасындағы және SF6 диссоциациясының мөлшерлемесіне, және Plasma түрлерінің концентрациясының өзгеруінің арасындағы байланысты зерттейді.
Зерттеулер плазмалық қуат көтерілген кезде, мөлшерлеме жоғарылағанын анықтады; Егер плазмадағы SF6-дағы SF6 ағынының деңгейі жоғарыласа, F атом концентрациясы жоғарылайды және оны қабылдаңыз. Сонымен қатар, жалпы ағынның бағамы бойынша o2 ктеомикалық газын қосқаннан кейін, ол екі бөлікке бөлінеді, бірақ әртүрлі O2 / SF6 ағынды коэффициенттері, оларды үш бөлікке бөлуге болады, ал O2 / SF6 ағынының арақатынасы өте аз, ал O2 O2-ді қабылдай алады. (2) O2 / SF6 ағынының коэффициенті осы уақытта 1-ге қарағанда, SF6-ның F атомдарын құрайтын бөлігіне байланысты 0,2-ден үлкен болған кезде, егер жоғары деңгейдегі тарифтер ең жоғары болса; Бірақ сонымен бірге, плазмадағы атомдар да артып келеді және Sinx фильмдерімен SIOX немесе SINXO (Yx) формасын қалыптастыру оңай, ал O а атомдар көбейеді, ал F атомдары реакция үшін қиын болады. Сондықтан, O2 / SF6 қатынасы 1-ге жақын болған кезде, егер O2 / SF6 қатынасы 1-ге жақын болған кезде баяулай бастайды. (3) O2 / SF6 коэффициенті 1-ден үлкен болған кезде, мөлшерлеме төмендейді. O2-дің үлкен өсуіне байланысты, бөлшектелген F атомдары o2 және формасымен соқтығысып, F атомдарының концентрациясын азайтады, нәтижесінде мөлшерлеменің төмендеуі әкеледі. Одан кейін O2 қосылған кезде, O2 / SF6 ағынының коэффициенті 0,2 және 0,8 аралығында, ал ең жақсы мөлшерлемені алуға болады.
POST TIME: Dec-06-2021
