Кәдімгі құрамында фтори бар арнайы электронды газдар жатадыкүкірт гексафториді (SF6), вольфрам гексафториді (WF6),көміртегі тетрафториді (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториді (NF3), гексафтороэтан (C2F6) және октафторпропан (C3F8).
Нанотехнологияның дамуымен және электроника саласының ауқымды дамуымен оған сұраныс күн санап арта түседі. Азот трифториді панельдер мен жартылай өткізгіштерді өндіруде және өңдеуде таптырмайтын және ең көп қолданылатын арнайы электронды газ ретінде кең нарыққа ие.
Құрамында фторы бар арнайы газ түрі ретінде,азот трифториді (NF3)ең үлкен нарық сыйымдылығы бар электронды арнайы газ өнімі болып табылады. Бөлме температурасында химиялық инертті, жоғары температурада оттегіге қарағанда белсенді, фторға қарағанда тұрақты және өңдеуге оңай. Азот трифториді негізінен плазмалық өңдеу газы және реакциялық камераны тазарту агенті ретінде пайдаланылады және жартылай өткізгіш чиптерді, жалпақ панельдік дисплейлерді, оптикалық талшықтарды, фотоэлектрлік элементтерді және т.б. өндіру үшін жарамды.
Құрамында фторы бар басқа электрондық газдармен салыстырғанда,азот трифторидіжылдам реакция және жоғары тиімділік артықшылықтары бар. Әсіресе кремний нитриді сияқты құрамында кремнийі бар материалдарды офортизациялауда ол оюланған объектінің бетінде ешқандай қалдық қалдырмай, жоғары өңдеу жылдамдығы мен таңдамалылығына ие. Бұл сонымен қатар өте жақсы тазартқыш және өңдеу процесінің қажеттіліктерін қанағаттандыра алатын бетіне ластануы жоқ.
Жіберу уақыты: 14 қыркүйек 2024 ж
