Құрамында фторлы арнайы электронды газдар кіредікүкірт гексафториді (SF6), Вунгстен гексафториді (WF6),Көміртекті тетрафторид (CF4), Trifluoromethane (CHF3), азот трифториді (NF3), алты гексафлуороет (C2F6) және октафторопопан (C3F8).
Нанотехнологияның дамуымен және электроника саласының кең ауқымды дамуымен оның сұранысы күн сайын артады. Азот трифториді, панельдер мен жартылай өткізгіштерді өндіру және өңдеудегі арнайы және ең ірі электронды газ ретінде кең базар кеңістігі бар.
Құрамында фторлы арнайы газ түрі ретінде,азот трифториді (NF3)ең көп нарық сыйымдылығы бар электронды арнайы газ өнімі. Бөлме температурасында химиялық тұрғыдан инертті, жоғары температурада оттегінен гөрі белсенді, фтордан гөрі тұрақты және оңай өңделеді. Азот трифториді негізінен газды және реакциялық камераны тазартатын плазмалық плазма ретінде қолданылады және жартылай өткізгіш чиптердің, жалпақ панельдің дисплейлерінің, оптикалық талшықтардың, фотоэлектрлік жасушалардың және т.б.
Құрамында фторлы электронды газдармен салыстырғанда,азот трифторидіжылдам реакция және жоғары тиімділіктің артықшылығы бар. Әсіресе, кремнийлі нитрид сияқты кремний бар материалдарды майлау кезінде, ол өте жоғары мөлшерде және селективтілікке ие, бұл заттың бетінде қалдық қалдырмайды. Бұл сонымен қатар өте жақсы тазартқыш және өңдеу процесінің қажеттіліктерін қанағаттандыра алатын бетіне ластануы жоқ.
POST TIME: SEP-14-2024
