Құрамында фтор бар арнайы электрондық газдарға мыналар жатадыкүкірт гексафториді (SF6), вольфрам гексафториді (WF6),көміртек тетрафториді (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториді (NF3), гексафторэтан (C2F6) және октафторопропан (C3F8).
Нанотехнологияның дамуымен және электроника өнеркәсібінің кең ауқымды дамуымен оған деген сұраныс күн сайын артады. Панельдер мен жартылай өткізгіштерді өндіру мен өңдеуде алмастырылмайтын және ең көп қолданылатын арнайы электрондық газ ретінде азот трифториді кең нарықтық кеңістікке ие.
Фтор бар арнайы газдың бір түрі ретінде,азот трифториді (NF3)нарықтағы ең үлкен сыйымдылығы бар электронды арнайы газ өнімі. Ол бөлме температурасында химиялық тұрғыдан инертті, жоғары температурада оттегіге қарағанда белсендірек, фторға қарағанда тұрақтырақ және өңдеуге оңай. Азот трифториді негізінен плазмалық өңдеу газы және реакция камерасын тазартқыш агент ретінде қолданылады және жартылай өткізгіш чиптерді, жалпақ панельді дисплейлерді, оптикалық талшықтарды, фотоэлектрлік элементтерді және т.б. өндіру салаларына жарамды.
Құрамында фтор бар басқа электрондық газдармен салыстырғанда,азот трифторидіжылдам реакция және жоғары тиімділік артықшылықтарына ие. Әсіресе, кремний нитриді сияқты кремний құрамдас материалдарды ою кезінде, ол жоғары ою жылдамдығы мен селективтілікке ие, оюланған заттың бетінде қалдық қалдырмайды. Сондай-ақ, ол өте жақсы тазартқыш зат болып табылады және бетіне ластану тудырмайды, бұл өңдеу процесінің қажеттіліктерін қанағаттандыра алады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 14 қыркүйек
