Электрондық арнайы газдың ең көп мөлшері – NF3 азот трифториді

Біздің еліміздің жартылай өткізгіштер өнеркәсібі мен панельдер өнеркәсібі жоғары деңгейде өркендеуді сақтап келеді. Панельдер мен жартылай өткізгіштерді өндіру мен өңдеуде алмастырылмайтын және ең көп көлемді арнайы электрондық газ ретінде азот трифториді кең нарықтық кеңістікке ие.

Фтор құрамдас арнайы электрондық газдар жиі қолданыладыкүкірт гексафториді (SF6), вольфрам гексафториді (WF6),көміртек тетрафториді (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториді (NF3), гексафторэтан (C2F6) және октафторопропан (C3F8). Азот трифториді (NF3) негізінен сутегі фториді-фтор газы жоғары энергиялы химиялық лазерлер үшін фтор көзі ретінде қолданылады. H2-O2 және F2 арасындағы реакция энергиясының тиімді бөлігі (шамамен 25%) лазерлік сәулелену арқылы бөлінуі мүмкін, сондықтан HF-OF лазерлері химиялық лазерлердің ішіндегі ең перспективалы лазерлер болып табылады.

Азот трифториді микроэлектроника өнеркәсібінде плазмалық оюдың тамаша газы болып табылады. Кремний мен кремний нитридін ою үшін азот трифториді көміртек тетрафториді мен көміртек тетрафториді мен оттегі қоспасына қарағанда жоғары ою жылдамдығы мен селективтілігіне ие және бетіне ластану тудырмайды. Әсіресе қалыңдығы 1,5 мкм-ден аз интегралды микросхема материалдарын оюда азот трифториді өте жақсы ою жылдамдығы мен селективтілігіне ие, оюланған заттың бетінде қалдық қалдырмайды және сонымен қатар өте жақсы тазартқыш зат болып табылады. Нанотехнологияның дамуымен және электроника өнеркәсібінің кең ауқымды дамуымен оған деген сұраныс күн сайын артады.

Фтор бар арнайы газдың бір түрі ретінде азот трифториді (NF3) нарықтағы ең ірі электрондық арнайы газ өнімі болып табылады. Ол бөлме температурасында химиялық тұрғыдан инертті, оттегіге қарағанда белсендірек, фторға қарағанда тұрақтырақ және жоғары температурада өңдеуге оңай.

Азот трифториді негізінен плазмалық өңдеу газы және реакция камерасын тазартқыш ретінде қолданылады, жартылай өткізгіш чиптер, жалпақ панельді дисплейлер, оптикалық талшықтар, фотоэлектрлік элементтер және т.б. сияқты өндіріс салаларына жарамды.

Басқа фторлы электрондық газдармен салыстырғанда, азот трифториді жылдам реакция және жоғары тиімділік артықшылықтарына ие, әсіресе кремний нитриді сияқты кремнийлі материалдарды ою кезінде, ол жоғары ою жылдамдығы мен селективтілікке ие, оюланған заттың бетінде қалдық қалдырмайды, сонымен қатар өте жақсы тазартқыш зат болып табылады, ол бетті ластамайды және өңдеу процесінің қажеттіліктерін қанағаттандыра алады.