Электрондық арнайы газдың ең көп мөлшері – NF3 азот трифториді

Біздің еліміздің жартылай өткізгіш өнеркәсібі мен панельдік өнеркәсібі өркендеудің жоғары деңгейін ұстап отыр. Азот трифториді панельдер мен жартылай өткізгіштерді өндіру мен өңдеуде таптырмайтын және ең үлкен көлемді арнайы электронды газ ретінде кең нарық кеңістігіне ие.

Құрамында фторы бар арнайы электронды газдарға жиі қолданылатындар жатадыкүкірт гексафториді (SF6), вольфрам гексафториді (WF6),көміртегі тетрафториді (CF4), трифторметан (CHF3), азот трифториді (NF3), гексафтороэтан (C2F6) және октафторпропан (C3F8). Азот трифториді (NF3) негізінен фтор сутегі-фторидті газды жоғары энергиялы химиялық лазерлер үшін фтор көзі ретінде пайдаланылады. H2-O2 және F2 арасындағы реакция энергиясының тиімді бөлігі (шамамен 25%) лазерлік сәулелену арқылы босатылуы мүмкін, сондықтан HF-OF лазерлері химиялық лазерлердің ішіндегі ең перспективалы лазерлер болып табылады.

Азот трифториді - микроэлектроника өнеркәсібіндегі тамаша плазмалық қышқыл газ. Кремний мен кремний нитридін ою үшін азот трифториді көміртегі тетрафторидіне және көміртегі тетрафториді мен оттегінің қоспасына қарағанда жоғары өңдеу жылдамдығы мен селективтілігіне ие және оның бетін ластамайды. Әсіресе қалыңдығы 1,5 мм-ден аз интегралды микросхема материалдарын өрнектеуде азот трифториді өте тамаша оюлау жылдамдығына және таңдамалылыққа ие, оюланған объектінің бетінде қалдық қалдырмайды, сонымен қатар өте жақсы тазартқыш болып табылады. Нанотехнологияның дамуымен және электроника саласының ауқымды дамуымен оған сұраныс күн санап арта түседі.

Құрамында фтори бар арнайы газдың бір түрі ретінде азот трифториді (NF3) нарықтағы ең үлкен электронды арнайы газ өнімі болып табылады. Бөлме температурасында химиялық инертті, оттегіге қарағанда белсенді, фторға қарағанда тұрақты және жоғары температурада өңдеуге оңай.

Азот трифториді негізінен жартылай өткізгіш чиптер, жалпақ панельдік дисплейлер, оптикалық талшықтар, фотоэлектрлік элементтер және т.

Құрамында фторы бар басқа электрондық газдармен салыстырғанда, азот үшфторидінің жылдам реакциясы мен жоғары тиімділігінің артықшылықтары бар, әсіресе кремний нитриді сияқты кремнийі бар материалдарды оюлауда, ол жоғары өңдеу жылдамдығы мен селективтілігі бар, өрнектелген объектінің бетінде қалдық қалдырмайды, сонымен қатар өте жақсы тазартқыш және оны тазарту үшін қажет емес зат болып табылады. процесс.