Электрондық арнайы газдың ең көп мөлшері - азот трифториді NF3

Біздің елдің жартылай өткізгіштеріміз және панельдік өнеркәсіп өркендеудің жоғары деңгейін сақтайды. Азот трифториді, панельдер мен жартылай өткізгіштер өндірісі мен өңдеудегі үлкен және үлкен электронды газ ретінде, кең базар кеңістігі бар.

Жалпы қолданылатын фторлы арнайы электронды газдар жатадыкүкірт гексафториді (SF6), Вунгстен гексафториді (WF6),Көміртекті тетрафторид (CF4), Trifluoromethane (CHF3), азот трифториді (NF3), алты гексафлуороет (C2F6) және октафторопопан (C3F8). Азотты трифториді (NF3) негізінен сутегі фторид-фторид газының жоғары энергиялы химиялық лазерлеріне арналған фтор көзі ретінде қолданылады. H2-O2 және F2 арасындағы реакциялық энергияның тиімді бөлігі (шамамен 25%) лазерлік сәулелену арқылы шығарылуы мүмкін, сондықтан химиялық лазерлер арасындағы HF лазерлері болып табылатын HF лазерлері болып табылады.

Азот Трифуорид - бұл микроэлектроника өнеркәсібіндегі газды майыстыратын тамаша плазма. Кремний мен кремний нитридін алу үшін азот трифториді көміртек театриді мен көміртек театридтерінің және оттегінің қоспасы бар және оның бетіне ластануы жоқ. Әсіресе, қалыңдығы 1,5-тен кем, аз мөлшерде біріктірілген схемалық материалдарды алу кезінде азот Триффлуорид өте жақсы, селективтіліктің өте жақсы, ал селективтілікке ие, бұл объектінің бетінде қалдық қалдырмайды және сонымен қатар өте жақсы тазартқыш агент болып табылады. Нанотехнологияның дамуымен және электроника саласының кең ауқымды дамуымен оның сұранысы күн сайын артады.

Құрамында фторлы арнайы газдың түрі ретінде азот Трифуорид (NF3) болып табылады (NF3) - бұл нарықтағы ең ірі электронды арнайы газ өнімі. Ол бөлме температурасында химиялық инертті, оттегінен гөрі белсенді, фтордан гөрі тұрақты, және жоғары температурада оңай өңделеді.

Азот Трифториді негізінен газ және реакциялық камераны тазартқыш ретінде пайдаланылады, бұл газ бен өткізгіш чиптер, жалпақ панельді дисплейлер, оптикалық талшықтар, фотоэлектрлік жасушалар және т.б.

Құрамында азот тригрині бар электронды газдармен салыстырғанда, әсіресе кремний нитридінің артықшылығы бар, әсіресе кремнийлі нитрид сияқты, бұл жоғары деңгейдегі кремді материалдар мен селективтілікке ие, сонымен қатар, бұл бетіне қалдық жоқ және ол өте жақсы тазартқыш агент болып табылады және ол өңдеудің қажеттіліктерін қанағаттандырады және мүмкін Процесс.