2018 жылы интегралдық микросхемаларға арналған жаһандық электронды газ нарығы өткен жылмен салыстырғанда 16%-ға артып, 4,512 миллиард АҚШ долларына жетті. Жартылай өткізгіштерге арналған электронды арнайы газ өнеркәсібінің жоғары өсу қарқыны және нарықтың үлкен көлемі электронды арнайы газды отандық алмастыру жоспарын жылдамдатты!
Электрондық газ дегеніміз не?
Электрондық газ жартылай өткізгіштерді, жалпақ панельді дисплейлерді, жарық диодтарын, күн батареяларын және басқа да электронды өнімдерді өндіруде қолданылатын негізгі бастапқы материалға жатады және тазалау, ою, пленка түзу, қоспалау және басқа процестерде кеңінен қолданылады. Электрондық газдың негізгі қолдану салаларына электроника өнеркәсібі, күн батареялары, ұялы байланыс, автомобиль навигациясы және автомобиль аудио және бейне жүйелері, аэроғарыш өнеркәсібі, әскери өнеркәсіп және көптеген басқа салалар кіреді.
Электрондық арнайы газды өзінің химиялық құрамы бойынша жеті санатқа бөлуге болады: кремний, мышьяк, фосфор, бор, металл гидриді, галогенид және металл алкоксиді. Интегралдық микросхемаларда қолданудың әртүрлі әдістеріне сәйкес оны қоспалау газы, эпитаксистік газ, иондық имплантация газы, жарық диодты газ, қышқыл газ, химиялық бу тұндыру газы және баланстық газ деп бөлуге болады. Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде 110 бірліктен астам арнайы газдар қолданылады, олардың 30-дан астамы әдетте қолданылады.
Жалпы, жартылай өткізгіштер өндірісі газдарды екі түрге бөледі: қарапайым газдар және арнайы газдар. Олардың ішінде жиі қолданылатын газ орталықтандырылған жабдықтауға жатады және газды көп пайдаланады, мысалы, N2, H2, O2, Ar, He және т.б. Арнайы газ жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде қолданылатын кейбір химиялық газдарға жатады, мысалы. кеңейту, ионды айдау, араластыру, жуу және масканы қалыптастыру, біз қазір электронды арнайы газ деп атаймыз, мысалы, жоғары таза SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, т.б.
Жартылай өткізгіш өнеркәсібінің бүкіл өндірістік процесінде, чиптің өсуінен бастап соңғы құрылғының қаптамасына дейін, әрбір буын дерлік электронды арнайы газдан бөлінбейді және қолданылатын газдың әртүрлілігі және жоғары сапа талаптары, сондықтан электронды газда жартылай өткізгіш материалдар бар. «Тамақ».
Соңғы жылдары Қытайдың жартылай өткізгіштер мен дисплей панельдері сияқты негізгі электрондық компоненттері жаңа өндіріс қуатын арттырды және электронды химиялық материалдардың импортын алмастыруға сұраныс жоғары. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі электронды газдардың орны барған сайын көрнекті бола бастады. Отандық электронды газ өнеркәсібі қарқынды өсуге жол ашады.
Электрондық арнайы газдың тазалыққа өте жоғары талаптары бар, өйткені тазалық талапқа сай болмаса, электронды арнайы газдағы су буы және оттегі сияқты қоспа топтары жартылай өткізгіштің бетінде оңай оксидті қабықша түзеді, бұл электрондық құрылғылардың қызмет ету мерзімі және электронды арнайы газдың құрамында Қоспа бөлшектері жартылай өткізгіштің қысқа тұйықталуына және тұйықталудың зақымдалуына әкелуі мүмкін. Тазалықты жақсарту электронды құрылғы өндірісінің өнімділігі мен өнімділігінде маңызды рөл атқарады деп айтуға болады.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің үздіксіз дамуымен чиптерді өндіру процесі жақсарып келеді және қазір ол 5 нм-ге жетті, ол Мур заңының шегіне жақындауға жақын, бұл адам шашының диаметрінің жиырмадан біріне тең ( шамамен 0,1 мм). Сондықтан бұл жартылай өткізгіштер шығаратын электронды арнайы газдың тазалығына жоғары талаптар қояды.
Жіберу уақыты: 15 желтоқсан 2021 ж
