2018 жылы интегралды схемалардың жаһандық электронды газ нарығы 4,512 миллиард АҚШ долларына жетті, бұл өткен жылмен салыстырғанда 16%-ға өскен. Жартылай өткізгіштерге арналған электронды арнайы газ өнеркәсібінің жоғары өсу қарқыны және нарықтың үлкен көлемі электронды арнайы газды ішкі алмастыру жоспарын жеделдетті!
Электрон газы дегеніміз не?
Электрондық газ жартылай өткізгіштерді, жалпақ панельді дисплейлерді, жарық шығаратын диодтарды, күн батареяларын және басқа да электрондық өнімдерді өндіруде қолданылатын негізгі бастапқы материалды білдіреді және тазалау, ою, пленка қалыптастыру, легирлеу және басқа да процестерде кеңінен қолданылады. Электрондық газдың негізгі қолданылу салаларына электроника өнеркәсібі, күн батареялары, мобильді байланыс, автомобиль навигациясы және автомобиль аудио және бейне жүйелері, аэроғарыш, әскери өнеркәсіб және басқа да көптеген салалар жатады.
Электрондық арнайы газды өзінің химиялық құрамына қарай жеті санатқа бөлуге болады: кремний, мышьяк, фосфор, бор, металл гидриді, галогенид және металл алкоксиді. Интегралдық микросхемалардағы әртүрлі қолдану әдістеріне сәйкес, оны легирлеу газы, эпитакси газы, ион имплантациясы газы, жарық шығаратын диод газы, ою газы, химиялық бу тұндыру газы және баланс газы деп бөлуге болады. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде 110-нан астам арнайы газ қолданылады, олардың 30-дан астамы жиі қолданылады.
Жалпы алғанда, жартылай өткізгіштер өндірісі өнеркәсібі газдарды екі түрге бөледі: қарапайым газдар және арнайы газдар. Олардың ішінде кең таралған газ орталықтандырылған жабдықтауды білдіреді және N2, H2, O2, Ar, He және т.б. сияқты көп газды пайдаланады. Арнайы газ дегеніміз жартылай өткізгіштер өндірісі процесінде қолданылатын кейбір химиялық газдар, мысалы, кеңейту, иондық инъекция, араластыру, жуу және маска түзу, бұл қазір біз электрондық арнайы газ деп атайтын жоғары тазалықтағы SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 және т.б.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің бүкіл өндіріс процесінде, чиптің өсуінен бастап құрылғының соңғы қаптамасына дейін, әрбір буын электронды арнайы газдан, қолданылатын газдың әртүрлілігінен және жоғары сапа талаптарынан ажырамас, сондықтан электронды газ жартылай өткізгіш материалдарға ие. «Азық-түлік».
Соңғы жылдары Қытайдың жартылай өткізгіштер мен дисплей панельдері сияқты негізгі электронды компоненттерінің жаңа өндірістік қуаттары артты, ал электронды химиялық материалдарды импорттауды алмастыруға деген сұраныс жоғары. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі электронды газдардың орны барған сайын айқындала түсті. Отандық электронды газ өнеркәсібі жылдам өсуге мүмкіндік береді.
Электрондық арнайы газдың тазалыққа қойылатын талаптары өте жоғары, себебі тазалық талаптарға сай болмаса, электронды арнайы газдағы су буы мен оттегі сияқты қоспа топтары жартылай өткізгіштің бетінде оңай оксид қабықшасын түзеді, бұл электронды құрылғылардың қызмет ету мерзіміне әсер етеді, ал электронды арнайы газ құрамындағы қоспалардың бөлшектері жартылай өткізгіштердің қысқа тұйықталуына және тізбектің зақымдалуына әкелуі мүмкін. Тазалықтың жақсаруы электронды құрылғылар өндірісінің өнімділігі мен өнімділігінде маңызды рөл атқарады деп айтуға болады.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің үздіксіз дамуымен чип өндірісі процесі жақсарып келеді және қазір ол 5 нм-ге жетті, бұл Мур заңының шегіне жақындауға жақын, бұл адам шашының диаметрінің жиырмадан бір бөлігіне (шамамен 0,1 мм) тең. Сондықтан, бұл жартылай өткізгіштер шығаратын электрондық арнайы газдың тазалығына жоғары талаптар қояды.
Жарияланған уақыты: 2021 жылғы 15 желтоқсан
