Жартылай өткізгіштің өндірістік процесінде салыстырмалы түрде алдыңғы қатарлы өндірістік процестермен, 50-ге жуық түрлі газдар қажет. Газдар, әдетте, көпсайық газдарға бөлінеді жәнеАрнайы газдар.

Микроэлектроника және жартылай өткізгіш өнеркәсіптерде газдарды қолдану Газдарды пайдалану әрқашан жартылай өткізгіш процестерде маңызды рөл атқарды, әсіресе жартылай өткізгіш процестер әртүрлі салаларда кеңінен қолданылады. Ulsi, TFT-LCD-ден ағымдағы микроэлектромеханикалық (MESTS) саласынан, жартылай өткізгіш процестер, жартылай өткізгіш процестер, оның ішінде құрғақ иілу, ион имплантациясы, жұқа пленкалы, жұқа пленкалар және т.б. қолданылады.

Мысалы, көптеген адамдар чиптер құмдан жасалғанын біледі, бірақ чип өндірісінің бүкіл процесінде, мысалы, фоторесист, жылтыратқыш сұйық, мақсатты материал, арнайы газ және т.б. қажет. Артқы жағының орамасы сонымен қатар әртүрлі материалдардан, интерпрессорлар, қорғасын кадрлары, байланыс материалдары және т.б. қажет. Электрондық арнайы газдар - бұл кремниймен бірге жартылай өткізгіш өндірісіндегі өндіріс шығындары, содан кейін маскалар мен фоторежиссерлер.

Газдың тазалығы компоненттердің тиімділігі мен өнімнің шығымдылығына батыл әсері бар, ал газбен жабдықтау қауіпсіздігі қызметкерлердің денсаулығына және зауыттың жұмысына байланысты. Неліктен газдың тазалығы технологиялық желі мен персоналға осындай үлкен әсер етеді? Бұл асырып өлмейді, бірақ газдың қауіпті сипаттамаларымен анықталады.

Жартылай өткізгіш өнеркәсіптегі жалпы газдардың жіктелуі

Қарапайым газ

Қарапайым газ сонымен қатар көлемді газ деп те аталады: ол 5N-ден 5-тен төмен, өндірістік газға және ірі өндіріс пен сату көлеміне қатысты. Оны әр түрлі дайындық әдістеріне сәйкес ауа бөлуге және синтетикалық газға бөлуге болады. Сутегі (H2), азот (N2), оттегі (O2), аргон (A2) және т.б.;

Газ мамандығы

Газ арнайы өрістерде қолданылатын өндірістік газға жатады және тазалыққа, әртүрлілікке және қасиеттерге қойылатын арнайы талаптарға ие. НегізіненSIH4, Ph3, b2h6, A8H3,Бак, Cf4,Nh3, Pocl3, sih2cl2, sikcl3,Nh3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HF, HBR,Sf6... және т.б.

Ішкі газдардың түрлері

Арнайы газдардың түрлері: коррозиялық, улы, оксикалық, жанғыш, жану, инертті және т.б.
Жартылай қолданылған жартылай өткізгіш газдар келесідей жіктеледі:
(i) коррозиялық / улы:Бак, BF3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,Bcl3...
(ii) жанғыш: H2,Ch4,SIH4, Ph3, ash3, sih2cl2, b2h6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) жанғыш: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) инертті: N2,CF4, C2f6,C4F8,Sf6, СО2,Ne,Kr, Ол ...

Жартылай өткізгіш чипті өңдеу процесінде арнайы газдар (арнайы газдар деп аталады) тотығу, диффузия, тұндыру, айыту, инъекция, фотолитография және басқа процестерде қолданылады, ал процестің жалпы кезеңі жүздегеннен асады. Мысалы, PH3 және Ash3 иондық имплантация процесінде фосфор және мышьяк көздері ретінде қолданылады, CF4, CHF3, SF6 және Halogen Chf6 және Halogen Gass CI2, BCI3, HBR, SIH4, NH3, N2O, фотолитография процесінде SIH4, NH3, N2O, KR / N2, KR / N2O.

Жоғарыда аталған аспектілерден көптеген жартылай өткізгіш газдар адам ағзасына зиянды екенін түсінуге болады. Атап айтқанда, SIH4 сияқты кейбір газдар өзін-өзі ұстай алады. Олар ағып кетсе, олар ауада оттегімен қатты әсер етеді және күйіп қалады; және күл3 өте улы. Кез-келген сәл ағып кету адамдардың өміріне зиян келтіруі мүмкін, сондықтан арнайы газдарды пайдалану үшін бақылау жүйесін жобалаудың сақталуына қойылатын талаптар өте жоғары.

Жартылай өткізгіштер жоғары тазалық газдарды «үш градусқа» қажет етеді

Газды тазалық

Газдағы кірме атмосфераның мазмұны әдетте газдың тазалығына пайызбен, мысалы, 99,9999% құрайды. Жалпы, электронды арнайы газдар үшін тазалыққа қойылатын талаптар 5N-6N-ге жетеді және сонымен қатар, PPM (миллионға бөлімі), PPM (миллиардқа бір бөлігі) және PPT (бір бөлігі үшін). Электрондық жартылай өткізгіш өріс арнайы газдардың тазалығы мен сапалы тұрақтылығына қойылатын ең жоғары талаптарға ие, ал электронды арнайы газдардың тазалығы, әдетте, 6N-дан жоғары.

Құрғақтық

Газдағы немесе дымқыл судың мөлшері, әдетте, Dew нүктесінде, мысалы, атмосфералық Dew Point -70 ₸.

Тазалық

Газдағы ластаушы заттардың бөлшектері, бөлшектердің мкм өлшемі бар бөлшектер қанша бөлшектер / м3-де көрсетілген. Сығымдалған ауада ол әдетте майлы құрамды қамтитын қатты қатты қалдықтардың мг / м3-де бейнеленген.