Хлорсутекөткір иісі бар түссіз газ. Оның судағы ерітіндісі тұз қышқылы деп аталады, сонымен қатар тұз қышқылы деп те аталады. Хлорсутек суда өте жақсы ериді. 0°С температурада 1 көлем су шамамен 500 көлем хлорсутек еріте алады.

Оның келесі қасиеттері мен сипаттамалары бар:

1. Жоғары тазалық

Электрондық бағаның тазалығыхлорсутекӨте жоғары, әдетте ppm немесе одан төмен деңгейде, жартылай өткізгіштерді өндіру процесіне ешқандай қоспалар енгізілмеуін қамтамасыз етеді.

2. Инерттілік

Бұл жартылай өткізгіш материалдар мен жабдықтардың ластануын болдырмау үшін өте маңызды басқа көптеген заттармен әрекеттеспейтін химиялық инертті газ.

3. Жоғары тұрақтылық

Электрондық бағахлорсутекжартылай өткізгіштерді сенімді өңдеуді қамтамасыз ету үшін әдетте тұрақты химияға ие.

Жартылай өткізгішті өңдеуде электронды сұрыпты хлорлы сутегінің негізгі қосымшалары мыналарды қамтиды:

1. Бетті тазалау және дайындау

Тиімді бет тазартқыш ретінде, электронды сортхлорсутекэпитаксиалды қабаттың немесе пленканың сапасы мен тазалығын қамтамасыз ету үшін субстрат бетінен оксидтер мен қоспаларды жою үшін қолданылады.

2. Эпитаксиальды өсуге көмекші

Эпитаксиалды процесте бетті өңдеу агенті ретінде ол эпитаксиалды қабаттың сапасын жақсартуға, тордың сәйкестігін жақсартуға және тор ақауларының пайда болуын азайтуға көмектеседі.

3. Субстратты алдын ала өңдеу

Жартылай өткізгішті құрылғыларды дайындау алдында, электронды сортхлорсутекэпитаксиалды қабат пен субстрат арасындағы адгезияны жақсарту үшін тұрақты негіз қалыптастыру үшін субстрат бетін өңдеу үшін қолдануға болады.

4. Тұндыру үшін көмекші агент

Химиялық буларды тұндыру (CVD) немесе физикалық буларды тұндыру (PVD) процесінде жартылай өткізгіш материалдардың тұндыру реакциясына қатысу үшін газ фазасының тасымалдағышы ретінде электрондық сортты хлорлы сутегін пайдалануға болады.

5. Газ фазалық тасымалдағыш

Газ фазалық тасымалдаушы агент ретінде материалдың тұндыру жылдамдығы мен біркелкілігін реттеуге көмектесу үшін реакция камерасына басқа газ тәрізді прекурсорлар енгізіледі.

Бұл сипаттамалар электронды баға жасайдыхлорсутексоңғы құрылғының өнімділігі мен сенімділігіне негізгі әсер ететін жартылай өткізгіш технологиядағы маңызды өңдеуші агент.

Жартылай өткізгішті өңдеуде пайдаланудан басқа, электронды сортты хлорид сутегі басқа салаларда әртүрлі пайдалануды таба алады, соның ішінде: жоғары тазалықтағы материалдарды дайындау, отын элементтері, жартылай өткізгіш материалдың өсуі, бу фазасының литографиясы, материалды талдау, химиялық зерттеулер.

Жалпы, электронды бағахлорсутекжартылай өткізгіштер өндірісінен тыс кең ауқымды қолдану аясына ие жан-жақты, жоғары таза газ.