Сутегі хлоридіөткір иісті түссіз газ. Оның сулы ерітіндісі тұз қышқылы деп аталады, ол тұз қышқылы деп те аталады. Сутегі хлориді суда өте ериді. 0°C температурада 1 көлем су шамамен 500 көлем сутегі хлоридін еріте алады.

Оның келесі қасиеттері мен сипаттамалары бар:

1. Жоғары тазалық

Электрондық сыныптың тазалығысутегі хлоридіжартылай өткізгіш өндіріс процесіне ешқандай қоспалардың енгізілмеуін қамтамасыз ету үшін өте жоғары, әдетте ppm немесе одан төмен деңгейде болады.

2. Инерттілік

Бұл химиялық инертті газ, ол басқа көптеген заттармен әрекеттеспейді, бұл жартылай өткізгіш материалдар мен жабдықтардың ластануын болдырмау үшін өте маңызды.

3. Жоғары тұрақтылық

Электрондық бағасутегі хлоридіәдетте сенімді жартылай өткізгіш өңдеуді қамтамасыз ету үшін тұрақты химияға ие.

Жартылай өткізгіштерді өңдеуде электрондық сұрыпты сутегі хлоридінің негізгі қолданылуына мыналар жатады:

1. Бетті тазалау және дайындау

Тиімді бет тазалағыш ретінде, электронды кластысутегі хлоридіэпитаксиалды қабаттың немесе пленканың сапасы мен тазалығын қамтамасыз ету үшін субстрат бетінен оксидтер мен қоспаларды кетіру үшін қолданылады.

2. Эпитаксиалды өсуге көмек

Эпитаксиалды процесте беттік өңдеу агенті ретінде қолданылғандықтан, ол эпитаксиалды қабаттың сапасын жақсартуға, тордың сәйкестігін жақсартуға және тор ақауларының пайда болуын азайтуға көмектеседі.

3. Субстратты алдын ала өңдеу

Жартылай өткізгіш құрылғыларды дайындамас бұрын, электрондық сортсутегі хлоридіэпитаксиалды қабат пен субстрат арасындағы адгезияны жақсарту үшін тұрақты негіз қалыптастыру мақсатында субстрат бетін өңдеу үшін пайдаланылуы мүмкін.

4. Тұндыруға арналған көмекші агент

Химиялық бу тұндыру (ХБТ) немесе физикалық бу тұндыру (ПБТ) процесінде электронды сұрыпты сутегі хлориді жартылай өткізгіш материалдардың тұндыру реакциясына қатысу үшін газ фазасын тасымалдау ортасы ретінде пайдаланылуы мүмкін.

5. Газ фазасын тасымалдау агенті

Газ фазасын тасымалдау агенті ретінде, материалдың тұндыру жылдамдығы мен біркелкілігін реттеуге көмектесу үшін реакция камерасына басқа газ тәрізді прекурсорлар енгізіледі.

Бұл сипаттамалар электронды бағаны белгілейдісутегі хлоридіжартылай өткізгіш технологиясындағы маңызды өңдеу агенті, ол соңғы құрылғының өнімділігі мен сенімділігіне маңызды әсер етеді.

Жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданумен қатар, электрондық сұрыпты сутегі хлориді басқа салаларда да әртүрлі қолданыстарды таба алады, соның ішінде: жоғары тазалықтағы материалдарды дайындау, отын элементтері, жартылай өткізгіш материалдарды өсіру, бу фазалық литографиясы, материалды талдау, химиялық зерттеулер.

Жалпы алғанда, электронды деңгейсутегі хлоридіжартылай өткізгіш өндірісінен тыс кең ауқымды қолданылуы бар жан-жақты, жоғары тазалықтағы газ.