Сутегі хлоридібұл өткір иісі бар түссіз газ. Оның сулы ерітіндісі тұз қышқылы деп аталады, сонымен қатар тұз қышқылы деп аталады. Сутегі хлориді суда өте еріген. 0 ° C температурада 1 судың көлемі 500-ге жуық сутегі хлориді тарата алады.

Оның келесі қасиеттері мен сипаттамалары бар:

1. Жоғары тазалық

Электрондық сыныптың тазалығыСутегі хлоридіЖартылай өткізгіш өндіріске қоспалар кірмейтініне көз жеткізу үшін өте жоғары, әдетте PPM немесе төменгі деңгейде.

2. Иверт

Бұл көптеген басқа заттармен жауап бермейтін химиялық инертті газ, бұл жартылай өткізгіш материалдар мен жабдықтардың ластануын болдырмау өте маңызды.

3. Жоғары тұрақтылық

Электрондық сыныпСутегі хлоридіӘдетте, жартылай өткізгіштерді сенімді түрде қамтамасыз ету үшін тұрақты химия бар.

Жартылай өткізгіштерді өңдеуде электронды сортты хлоридтің негізгі қосымшалары:

1. Бетті тазарту және дайындау

Тиімді беттік тазалағыш ретінде, электронды баға ретіндеСутегі хлоридіЭпитаксиальды қабаттың немесе пленканың сапасы мен тазалығын қамтамасыз ету үшін ішкі субстрат бетінен оксидтер мен қоспаларды кетіру үшін қолданылады.

2.Пипитаксиандық өсу көмегі

Эпитаксиальды процессте беткі өңдеу агенті ретінде пайдаланылады, бұл эпитаксиальды қабаттың сапасын жақсартуға, торды сәйкестендіруді жақсартады және тордың ақауларының пайда болуын азайтуға көмектеседі.

3. Субстрат алдын ала рәсімдеу

Жартылай өткізгіш құрылғыларды дайындауға дейін, электронды сыныпСутегі хлоридіЭпитаксиальды қабат пен субстрат арасындағы адгезияны жақсарту үшін субстрат бетін тұрақты негіз қалыптастыру үшін қолдануға болады.

4. Көмекші агент

Химиялық будың тұндыру процесінде (CVD) немесе физикалық бумен тұндыру процесінде (PVD), электронды сортты глогенді хлориді жартылай өткізгіш материалдардың тұндыру реакциясына қатысу үшін газ фазасы трансферлі ортасы ретінде пайдаланылуы мүмкін.

5. Газ фазалы трансфер-агенті

Газ фазалық трансферт агенті ретінде, реакция камерасына түсіп, басқа газ тәрізді препарорлар пайда болуы және материалдың біркелкілігін реттеуге көмектеседі.

Бұл сипаттамалар электронды түрде жасайдыСутегі хлоридіЖартылай өткізгіш технологиялардағы маңызды өңдеуші, ол соңғы құрылғының жұмысына және сенімділігіне әсер етеді.

Жартылай өткізгішті өңдеумен қатар, сутегі хлориді басқа аудандарда қолдануға қосымша, оның ішінде: жоғары тазалық материалдарын, отын жасушаларын, жартылай өткізгіш материалдың өсуін, бу фазалық литографиясын, материалды талдау, химиялық зерттеулер дайындау.

Жалпы, электронды сыныпСутегі хлоридіЖан-жақты, жоғары тазалық газы, ол жартылай өткізгіш өндірісінен тыс қосымшалары бар.