Лазерлік газ негізінен электроника өнеркәсібінде лазерлік күйдіру және литографиялық газ үшін қолданылады. Ұялы телефон экрандарының инновациясынан және қолдану аймақтарының кеңеюінен пайда ала отырып, төмен температуралы полисилиций нарығының ауқымы одан әрі кеңейеді, ал лазерлік күйдіру процесі TFTs өнімділігін айтарлықтай жақсартты. Жартылай өткізгіштерді өндіру үшін ArF эксимер лазерінде қолданылатын неон, фтор және аргон газдарының ішінде неон лазерлік газ қоспасының 96%-дан астамын құрайды. Жартылай өткізгішті технологияның жетілдірілуімен эксимерлі лазерлерді қолдану артты, ал қос экспозициялық технологияны енгізу ArF эксимерлі лазерлері тұтынатын неон газына сұраныстың күрт өсуіне әкелді. Электрондық арнайы газдарды локализациялауды ілгерілету арқылы отандық өндірушілер болашақта нарықтық өсу кеңістігіне ие болады.
Литографиялық машина жартылай өткізгіш өндірісінің негізгі жабдығы болып табылады. Литография транзисторлардың өлшемін анықтайды. Литография өнеркәсібінің тізбегінің үйлесімді дамуы литографиялық машинаның серпілісінің кілті болып табылады. Фоторезист, фотолитография газы, фотомаска, қаптау және өңдеу жабдықтары сияқты сәйкес келетін жартылай өткізгіш материалдар жоғары технологиялық мазмұнға ие. Литография газы - бұл литографиялық машина терең ультракүлгін лазерді шығаратын газ. Әртүрлі литографиялық газдар әртүрлі толқын ұзындығының жарық көздерін шығара алады және олардың толқын ұзындығы литография машинасының өзектерінің бірі болып табылатын литография машинасының рұқсат ету қабілетіне тікелей әсер етеді. 2020 жылы литографиялық аппараттардың жалпы әлемдік сатылымы 413 бірлікті құрайды, оның ішінде ASML сатылымы 258 бірлігі 62%, Canon сатылымы 122 бірлігі 30%, Nikon сатылымы 33 бірлігі 8% құрады.
Жіберу уақыты: 15 қазан 2021 ж
