Лазерлік газ негізінен электроника өнеркәсібінде лазерлік күйдіру және литография газы үшін қолданылады. Ұялы телефон экрандарының инновациясы мен қолдану салаларының кеңеюінің арқасында төмен температуралы полискремний нарығының ауқымы одан әрі кеңейеді, ал лазерлік күйдіру процесі TFT-лердің өнімділігін айтарлықтай жақсартты. Жартылай өткізгіштер өндірісі үшін ArF эксимер лазерінде қолданылатын неон, фтор және аргон газдарының ішінде неон лазерлік газ қоспасының 96%-дан астамын құрайды. Жартылай өткізгіш технологиясының жетілдірілуімен эксимер лазерлерін пайдалану артты, ал қос экспозиция технологиясын енгізу ArF эксимер лазерлері тұтынатын неон газына деген сұраныстың күрт артуына әкелді. Электрондық мамандандырылған газдарды локализациялауды ілгерілетудің пайдасын көріп, отандық өндірушілер болашақта нарықтың жақсы өсу кеңістігіне ие болады.
Литография машинасы жартылай өткізгіш өндірісінің негізгі жабдығы болып табылады. Литография транзисторлардың өлшемін анықтайды. Литография саласының тізбегінің үйлесімді дамуы литография машинасының серпілісінің кілті болып табылады. Фоторезист, фотолитография газы, фотомаска және жабын жасау жабдықтары сияқты сәйкес келетін жартылай өткізгіш материалдар жоғары технологиялық құрамға ие. Литография газы - литография машинасы терең ультракүлгін лазер шығаратын газ. Әртүрлі литография газдары әртүрлі толқын ұзындығындағы жарық көздерін шығара алады, ал олардың толқын ұзындығы литография машинасының негізгі бөліктерінің бірі болып табылатын литография машинасының ажыратымдылығына тікелей әсер етеді. 2020 жылы литография машиналарының жалпы әлемдік сатылымы 413 бірлікті құрайды, оның ішінде ASML сатылымы 258 бірлікті, Canon сатылымы 122 бірлікті, ал Nikon сатылымы 33 бірлікті құрайды, бұл 8% құрайды.
Жарияланған уақыты: 2021 жылғы 15 қазан
