Арнайы газдаржалпыдан ерекшеленедіөнеркәсіптік газдарөйткені олардың мамандандырылған қолданысы бар және белгілі бір салаларда қолданылады. Олардың тазалығына, қоспалардың мөлшеріне, құрамына және физикалық және химиялық қасиеттеріне қойылатын нақты талаптары бар. Өнеркәсіптік газдармен салыстырғанда, мамандандырылған газдардың түрлері әртүрлі, бірақ өндіріс пен сату көлемі аз.

Theаралас газдаржәнестандартты калибрлеу газдарыБіз жиі қолданатын газдар арнайы газдардың маңызды компоненттері болып табылады. Аралас газдар әдетте жалпы аралас газдар және электрондық аралас газдар болып бөлінеді.

Жалпы аралас газдарға мыналар жатады:лазерлік аралас газ, Аспаптық анықтау аралас газ, дәнекерлеу аралас газ, сақтау аралас газ, электр жарық көзі аралас газ, медициналық және биологиялық зерттеулер аралас газ, дезинфекциялау және стерилизациялау аралас газ, аспаптық дабыл аралас газ, жоғары қысымды аралас газ және нөлдік ауа.

Электрондық газ қоспаларына эпитаксиалды газ қоспалары, химиялық бу тұндыру газ қоспалары, легирлеу газ қоспалары, ою газ қоспалары және басқа да электрондық газ қоспалары жатады. Бұл газ қоспалары жартылай өткізгіштер мен микроэлектроника салаларында маңызды рөл атқарады және ірі интегралды микросхемалар (LSI) және өте ірі интегралды микросхемалар (VLSI) өндірісінде, сондай-ақ жартылай өткізгіш құрылғылар өндірісінде кеңінен қолданылады.

Электронды аралас газдардың 5 түрі ең көп қолданылады

Аралас газды легирлеу

Жартылай өткізгіш құрылғылар мен интегралды микросхемалар өндірісінде жартылай өткізгіш материалдарға қажетті өткізгіштік пен кедергіні беру үшін белгілі бір қоспалар енгізіледі, бұл резисторларды, PN түйіспелерін, көмілген қабаттарды және басқа материалдарды өндіруге мүмкіндік береді. Қоспалау процесінде қолданылатын газдар қоспа газдары деп аталады. Бұл газдарға негізінен арсин, фосфин, фосфор трифториді, фосфор пентафториді, мышьяк трифториді, мышьяк пентафториді,бор трифториді, және диборан. Қоспа көзі әдетте көз шкафында тасымалдаушы газбен (мысалы, аргон және азот) араластырылады. Содан кейін аралас газ диффузиялық пешке үздіксіз енгізіліп, пластинаның айналасында айналады, қоспаны пластина бетіне тұндырады. Содан кейін қоспа кремниймен әрекеттесіп, кремнийге ауысатын қоспа металлын түзеді.

Эпитаксиалды өсу газының қоспасы

Эпитаксиалды өсу - бұл монокристалды материалды субстрат бетіне жағу және өсіру процесі. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде мұқият таңдалған субстратта химиялық бу тұндыру (ХБШ) арқылы бір немесе бірнеше материал қабаттарын өсіру үшін қолданылатын газдар эпитаксиалды газдар деп аталады. Кең таралған кремний эпитаксиалды газдарына дигидроген дихлорсилан, кремний тетрахлориді және силан жатады. Олар негізінен эпитаксиалды кремний тұндыру, поликристалды кремний тұндыру, кремний оксиді қабықшасын тұндыру, кремний нитриді қабықшасын тұндыру және күн батареялары мен басқа да фотосезімтал құрылғылар үшін аморфты кремний қабықшасын тұндыру үшін қолданылады.

Иондық имплантациялық газ

Жартылай өткізгіш құрылғылар мен интегралды схемалар өндірісінде ион имплантациясы процесінде қолданылатын газдар жалпы түрде ион имплантациясы газдары деп аталады. Иондалған қоспалар (мысалы, бор, фосфор және мышьяк иондары) субстратқа имплантацияланбас бұрын жоғары энергия деңгейіне дейін үдетіледі. Ион имплантациясы технологиясы шекті кернеуді басқару үшін кеңінен қолданылады. Имплантацияланған қоспалардың мөлшерін ион сәулесінің тогын өлшеу арқылы анықтауға болады. Ион имплантациясы газдарына әдетте фосфор, мышьяк және бор газдары жатады.

Аралас газды өңдеу

Ою – фоторезистпен бүркемеген негіздегі өңделген бетті (мысалы, металл пленка, кремний оксиді пленкасы және т.б.) алып тастау процесі, сонымен бірге негіз бетінде қажетті кескіндеу үлгісін алу үшін фоторезистпен бүркемеленген аймақты сақтайды.

Химиялық бу тұндыру газ қоспасы

Химиялық бу тұндыру (ХБТ) бу фазасындағы химиялық реакция арқылы бір затты немесе қосылысты тұндыру үшін ұшқыш қосылыстарды пайдаланады. Бұл бу фазасындағы химиялық реакцияларды пайдаланатын қабықша түзу әдісі. Қолданылатын ХБТ газдары түзілетін қабықша түріне байланысты өзгереді.