Эпитаксиальды (өсу)Аралас гаs

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде мұқият таңдалған субстратқа химиялық бумен тұндыру үшін пайдаланылатын газ эпитаксилі газ деп аталады.

Жалпы қолданылатын кремний эпитактикалық газдарына дихлоросилан, кремний тетрахлориді жәнесайлан. Негізінен эпитаксиальды кремнийді тұндыру, кремний оксиді пленкасы, кремний нитридті тұндыру, күн батареялары мен басқа да фоторектерлерге арналған аморфты кремний пленкасы және т.б.

Химиялық будың тұнбасы (CVD) аралас газ

CVD - бұл белгілі бір элементтер мен қосылыстарды газ фазалық химиялық реакцияларымен, мысалы, құбылмалы қосылыстарды, яғни газ фазалық химиялық реакцияларды қолдана отырып, қабық қалыптастыру әдісі. Құрылған фильмнің түріне байланысты, химиялық будың тұндыру (CVD) газы да әртүрлі.

ДопАралас газ

Жартылай өткізгіш құрылғылар мен интеграцияланған схемалар өндірісінде, белгілі бір қоспалар материалдарға қажетті өткізгіштік түріне және резервтік резисторлардың, Pn түйісулеріне, көмілген қабаттарға және т.с.с., т.б.

Негізінен арсин, фосфин, фосфор, фосфор, фосфор, фосфор Пентафториді, мышьяк триффлюориді, мышьяк триффлюориді, мышьяк Пентакториді,Бор трифториді, Диборан және т.б.

Әдетте, допинг көзі бастапқы кабинеттегі тасымалдаушы газбен (мысалы, аргон және азот сияқты) араласады. Араластырылғаннан кейін газ ағыны диффузиялық пешке үнемі енгізіліп, вафлиді вафлидің бетіне салып, вафлидің бетіне салып, содан кейін кремсонға қоныс аударады, содан кейін кремсонға қоныс аударады.

ИсаГаз қоспасы

Суброзадағы суреттеу бетінен (мысалы, металл пленкасы, кремний оксиді қабығы, кремний оксиді пленкасы, силикон оксиді пленкасы және т.б.), фоторезист маскировкасы жоқ, суреттеуге арналған маскоминмен, сонымен қатар, субстресстің бетіне қажетті бейнелеу үлгісін алу үшін аймақты сақтайды.

Детчерленген әдістерге дымқыл химиялық игеру және химиялық химиялық заттар кіреді. Құрғақ химиялық газбен пайдаланылатын газ газды қабылдай алады.

Газды алу әдетте фторлы газ (галоген), мысалыКөміртекті тетрафторид, азот Трифториді, Трифторометан, Гексафлуороэшанан, перексафлуороэш, Perfluoropropane және т.б.