Эпитаксиалды (өсу)Аралас Гаs

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде мұқият таңдалған субстратқа химиялық бумен тұндыру арқылы бір немесе бірнеше материал қабаттарын өсіру үшін қолданылатын газ эпитаксиалды газ деп аталады.

Кремний эпитаксиалды газдары дихлорсилан, кремний тетрахлориді және т.б. жиі қолданылады.силанНегізінен эпитаксиалды кремний тұндыру, кремний оксиді қабықшасын тұндыру, кремний нитриді қабықшасын тұндыру, күн батареялары мен басқа да фоторецепторларға арналған аморфты кремний қабықшасын тұндыру және т.б. үшін қолданылады. Эпитакси - бұл монокристалды материал субстрат бетіне тұндыру және өсіру процесі.

Химиялық бу тұндыру (ХБТ) Аралас газ

CVD – ұшқыш қосылыстарды пайдаланып, газ фазасындағы химиялық реакциялар арқылы белгілі бір элементтер мен қосылыстарды тұндыру әдісі, яғни газ фазасындағы химиялық реакцияларды пайдаланып қабықша түзу әдісі. Қалыптасқан қабықша түріне байланысты қолданылатын химиялық бу тұндыру (CVD) газы да әртүрлі болады.

ДопингАралас газ

Жартылай өткізгіш құрылғылар мен интегралдық микросхемалар өндірісінде белгілі бір қоспалар жартылай өткізгіш материалдарға қажетті өткізгіштік түрін және резисторларды, PN түйіспелерін, көмілген қабаттарды және т.б. өндіру үшін белгілі бір кедергіні беру үшін легирленеді. Легирлеу процесінде қолданылатын газ легирленген газ деп аталады.

Негізінен құрамында арсин, фосфин, фосфор трифториді, фосфор пентафториді, мышьяк трифториді, мышьяк пентафториді,бор трифториді, диборан және т.б.

Әдетте, қоспа көзі бастапқы шкафта тасымалдаушы газбен (мысалы, аргон және азот) араластырылады. Араластырғаннан кейін газ ағыны диффузиялық пешке үздіксіз енгізіліп, пластинаны қоршап, пластинаның бетіне қоспалар тұндырады, содан кейін кремниймен әрекеттесіп, кремнийге ауысатын қоспаланған металдарды түзеді.

ОюГаз қоспасы

Ою дегеніміз - субстрат бетінде қажетті кескіндеу үлгісін алу үшін фоторезист маскасынсыз өңделетін бетті (мысалы, металл пленка, кремний оксиді пленкасы және т.б.) ойып алу, сонымен бірге сол аймақты фоторезист маскасымен сақтау.

Ою әдістеріне ылғалды химиялық ою және құрғақ химиялық ою жатады. Құрғақ химиялық оюда қолданылатын газ ою газы деп аталады.

Өңдеу газы әдетте фтор газы (галогенид) болып табылады, мысалыкөміртек тетрафториді, азот трифториді, трифторметан, гексафторэтан, перфторпропан және т.б.