Бор үшхлориді (BCl3)жартылай өткізгіш өндірісінде құрғақ өңдеу және химиялық бумен тұндыру (ХБТ) процестерінде жиі қолданылатын бейорганикалық қосылыс. Бұл бөлме температурасында күшті өткір иісі бар түссіз газ және ылғалды ауаға сезімтал, себебі ол тұз қышқылы мен бор қышқылын түзу үшін гидролизденеді.

Бор трихлоридінің қолданылуы

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде,Бор трихлоридінегізінен алюминийді құрғақ өңдеу үшін және кремний пластиналарында P-типті аймақтарды қалыптастыру үшін қоспа ретінде қолданылады. Оны сондай-ақ GaAs, Si, AlN сияқты материалдарды өңдеу үшін және белгілі бір нақты қолданбаларда бор көзі ретінде пайдалануға болады. Сонымен қатар, бор үшхлориді металл өңдеуде, шыны өнеркәсібінде, химиялық талдауда және зертханалық зерттеулерде кеңінен қолданылады.

Бор трихлоридінің қауіпсіздігі

Бор трихлоридікоррозиялық және улы болып табылады және көз бен теріге ауыр зақым келтіруі мүмкін. Ол ылғалды ауада гидролизденіп, улы сутегі хлориді газын бөліп шығарады. Сондықтан, онымен жұмыс істеген кезде тиісті қауіпсіздік шараларын қолдану қажет.Бор трихлоридіқорғаныс киімін, көзілдірікті және тыныс алу органдарын қорғау құралдарын киюді және жақсы желдетілетін ортада жұмыс істеуді қоса алғанда.