Бор үшхлориді (BCl3)жартылай өткізгіштер өндірісінде құрғақ ою және химиялық бу тұндыру (CVD) процестерінде әдетте қолданылатын бейорганикалық қосылыс болып табылады. Бұл бөлме температурасында өткір өткір иісі бар түссіз газ және ылғалды ауаға сезімтал, өйткені ол гидролизденіп, тұз қышқылы мен бор қышқылын түзеді.

Бор трихлоридінің қолданылуы

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде,Бор трихлоридінегізінен алюминийді құрғақ сылау үшін және кремний пластинкаларында P-типті аймақтарды қалыптастыру үшін қоспа ретінде қолданылады. Сондай-ақ, оны GaAs, Si, AlN сияқты материалдарды өңдеу үшін және белгілі бір арнайы қолданбаларда бор көзі ретінде пайдалануға болады. Сонымен қатар бор үшхлориді металл өңдеуде, шыны өнеркәсібінде, химиялық талдауда және зертханалық зерттеулерде кеңінен қолданылады.

Бор трихлоридінің қауіпсіздігі

Бор трихлоридікоррозиялық және улы болып табылады және көз бен теріге елеулі зақым келтіруі мүмкін. Ол улы сутегі хлориді газын шығару үшін ылғалды ауада гидролизденеді. Сондықтан өңдеу кезінде тиісті қауіпсіздік шараларын қолдану қажетБор трихлориді, соның ішінде қорғаныс киімін, көзілдірікті және тыныс алу органдарын қорғау құралдарын кию және жақсы желдетілетін ортада жұмыс істеу.