Бор трихлориді (BCL3)Жартылай өткізгіш өндірісіндегі химиялық буларды (CVD) құрғақ өңдеу және химиялық буларда (CVD) өңдейтін бейорганикалық қосылыс. Бұл бөлме температурасында қатты өткір иісі бар түссіз газ және ылғалды ауаға сезімтал, өйткені ол тұз қышқылы мен бор қышқылын шығарады.

Борлы трихлоридтің өтінімдері

Жартылай өткізгіш өнеркәсіпте,Бор трихлоридіНегізінен алюминийді құрғақ алу үшін және кремний вафлиінде Р-типті аймақтарды құруға арналған допант ретінде қолданылады. Оны GAAS, SI, ALN сияқты материалдарды белгілі бір нақты қосымшалардағы бор көзі ретінде пайдалануға болады. Сонымен қатар, бор трихлорид металл өңдеу, шыны өнеркәсіп, химиялық талдау және зертханалық зерттеулерде кеңінен қолданылады.

Бор трихлоридінің қауіпсіздігі

Бор трихлоридікоррозиялық және улы болып табылады және көздер мен теріге айтарлықтай зиян келтіруі мүмкін. Бұл ылғалдандыратын ауада гидролиздер улы сутегі хлоридтер газын шығару үшін. Сондықтан, қауіпсіздік кезінде қауіпсіздік шараларын қолдану қажетБор трихлориді, соның ішінде қорғаныс киімдерін, көзілдірік және тыныс алуды қорғау құралдарын кию және жақсы желдетілетін ортада жұмыс істеу.