Өте жоғары таза газдар (UHP) жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қаны болып табылады. Бұрын-соңды болмаған сұраныс пен жаһандық жеткізу тізбегіндегі үзілістер ультра жоғары қысымды газдың бағасын көтеретіндіктен, жартылай өткізгіштердің жаңа дизайны мен өндірісі қажетті ластануды бақылау деңгейін арттырады. Жартылай өткізгіш өндірушілер үшін UHP газының тазалығын қамтамасыз ету бұрынғыдан да маңызды.

Ультра жоғары тазалықтағы (UHP) газдар қазіргі заманғы жартылай өткізгіштер өндірісінде өте маңызды.

UHP газының негізгі қолдануларының бірі - инерция: UHP газы жартылай өткізгіш компоненттердің айналасында қорғаныс атмосферасын қамтамасыз ету үшін пайдаланылады, осылайша оларды ылғалдың, оттегінің және атмосферадағы басқа ластаушы заттардың зиянды әсерінен қорғайды. Дегенмен, инерция - бұл жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде газдар орындайтын көптеген әртүрлі функциялардың бірі ғана. Бастапқы плазмалық газдардан бастап өңдеу және күйдіру кезінде қолданылатын реактивті газдарға дейін ультра жоғары қысымды газдар әртүрлі мақсаттарда қолданылады және жартылай өткізгіштерді жеткізу тізбегінде өте маңызды.

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі кейбір «негізгі» газдарға жатадыазот(жалпы тазалау және инертті газ ретінде пайдаланылады),аргон(ою және тұндыру реакцияларында негізгі плазмалық газ ретінде пайдаланылады),гелий(арнайы жылу өткізгіш қасиеттері бар инертті газ ретінде пайдаланылады) жәнесутегі(жасытуда, тұндыруда, эпитаксисте және плазманы тазалауда бірнеше рөл атқарады).

Жартылай өткізгіштер технологиясы дамып, өзгерген сайын өндіріс процесінде қолданылатын газдар да өзгерді. Бүгінгі күні жартылай өткізгіштерді шығаратын зауыттар асыл газдардан бастап газдардың кең спектрін пайдаланадыкриптонжәненеоназот трифториді (NF 3 ) және вольфрам гексафториді (WF 6 ) сияқты реактивті түрлерге.

Тазалыққа сұраныстың артуы

Бірінші коммерциялық микрочипті ойлап тапқаннан бері әлем жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігінің таңғажайып экспоненциалды өсуіне куә болды. Соңғы бес жылда өнімділікті жақсартудың осы түріне қол жеткізудің ең сенімді жолдарының бірі «өлшемді масштабтау» болды: берілген кеңістікке көбірек транзисторларды сығу үшін бар чип архитектураларының негізгі өлшемдерін азайту. Бұған қоса, жаңа чип архитектураларының дамуы және озық материалдарды пайдалану құрылғының өнімділігінде секіріс жасады.

Бүгінгі таңда алдыңғы қатарлы жартылай өткізгіштердің маңызды өлшемдері соншалықты аз, сондықтан өлшемді масштабтау құрылғы өнімділігін жақсартудың өміршең тәсілі болып табылмайды. Оның орнына жартылай өткізгішті зерттеушілер жаңа материалдар мен 3D чип архитектурасы түріндегі шешімдерді іздейді.

Онжылдықтар бойы тынымсыз қайта құру бүгінгі жартылай өткізгіш құрылғылардың бұрынғы микрочиптерге қарағанда әлдеқайда күшті екенін білдіреді, бірақ олар да нәзік. 300 мм пластинаны жасау технологиясының пайда болуы жартылай өткізгіштерді өндіру үшін қажетті қоспаларды бақылау деңгейін арттырды. Тіпті өндіріс процесіндегі ең аз ластану (әсіресе сирек немесе инертті газдар) жабдықтың апатты істен шығуына әкелуі мүмкін, сондықтан газ тазалығы қазір бұрынғыдан да маңызды.

Әдеттегі жартылай өткізгіштерді шығаратын зауыт үшін өте жоғары таза газ кремнийден кейінгі ең үлкен материалдық шығын болып табылады. Бұл шығындар тек жартылай өткізгіштерге сұраныс жаңа биіктерге көтерілген сайын өседі деп күтілуде. Еуропадағы оқиғалар шиеленісті ультра жоғары қысымды табиғи газ нарығында қосымша бұзылулар тудырды. Украина - жоғары тазалықтағы әлемдегі ең ірі экспорттаушылардың бірінеонбелгілер; Ресейдің басып кіруі сирек кездесетін газды жеткізудің шектелуін білдіреді. Бұл өз кезегінде басқа асыл газдардың тапшылығына және қымбаттауына әкелдікриптонжәнексенон.