Ультра жоғары тазалық (UHP) газдар - жартылай өткізгіш өнеркәсіптің тіршілік үйі. Бұрын-соңды болмаған сұраныс пен жаһандық жеткізілім тізбегіне кедергі келтіруі, ультра жоғары қысымды газдың бағасын, жаңа жартылай өткізгішті жобалау және өндірістік тәжірибені арттыру қажет. Жартылай өткізгіш өндірушілер үшін, UHP газының тазалығын қамтамасыз ете білу бұрынғыдан да маңызды.

Заманауи жартылай өткізгіштерде ультра жоғары тазалық (UHP) газдар өте маңызды

UHP газының негізгі қосымшаларының бірі - инерикторлар: UHP газы жартылай өткізгіш компоненттерінің айналасындағы қорғаныс атмосферасын қамтамасыз ету үшін қолданылады, осылайша оларды ылғалдың, оттегінің және басқа да ластаушы заттардың зиянды әсерінен қорғайды. Алайда, инерсттау - бұл көптеген түрлі функциялардың бірі, ол жартылай өткізгіш өнеркәсіпте газдар жасайды. Алғашқы плазмалық газдардан алынған реактивті газдардан алынған реактивті газдарға, ультра жоғары қысымды газдар әртүрлі мақсаттарда қолданылады және жартылай өткізгіш жеткізілім тізбегінде өте маңызды.

Жартылай өткізгіш өнеркәсіптегі кейбір «өзек» газдарына жатадыазот(жалпы тазалау және инертті газ ретінде қолданылады),аргон(шығарып, тұндыру реакцияларындағы негізгі плазма газы ретінде қолданылады),гелий(арнайы жылу беру қасиеттері бар инертті газ ретінде қолданылады) жәнесутегі(Кішігірім, тұндыру, эпитакси және плазмалық тазарту бойынша бірнеше рөлдер ойнайды).

Жартылай өткізгіш технологиясы дамып, өзгерген сайын, өндіріс процесінде қолданылатын газдар бар. Бүгінгі таңда жартылай өткізгіш өндірістік зауыттар, мысалы, асыл газдардан, мысалы, асыл газдардан тұрадыКриптонжіненеонШамамен трифториді (NF 3) және вольфрам гексафториді сияқты реактивті түрлерге (WF 6).

Тазалықтың өсуі

Алғашқы коммерциялық микрочиптің өнертабысы болғандықтан, әлем жартылай өткізгіш құрылғылардың спектакулын экспоненциалды ұлғаюына куә болды. Соңғы бес жыл ішінде өнімділікті жақсартудың осы түріне жетудің ең жақсы тәсілдерінің бірі «Масштабтау» арқылы өтті: белгілі бір кеңістікке көбірек транзисторлардың негізгі өлшемдерін азайту. Сонымен қатар, жаңа чип-архитектуралардың дамуы және кесілген материалдарды пайдалану құрылғының жұмысында секіргіштер шығарды.

Бүгінгі таңда кесілген жартылай өткізгіштердің критикалық өлшемдері қазір кішкентай, бұл мөлшерді масштабтау құрылғының жұмысын жақсартудың өміршең әдісі болып табылмайды. Оның орнына жартылай өткізгіш зерттеушілер роман материалдарымен және 3D чип-архитектуралар түрінде шешімдерді іздейді.

Еңбек етілуінің ондаған жылдарында ең қызғылт түсті дегеніміз - бүгінгі жартылай өткізгіш құрылғылар ежелгі микрочиптерге қарағанда әлдеқайда күшті, бірақ олар да нәзік. 300 мм вафирлеу технологиясының пайда болу технологиясы жартылай өткізгіш өндіріс үшін қажет қоспаларды бақылау деңгейін арттырды. Тіпті өндірістік процесте (әсіресе сирек кездесетін немесе инертті газдар) аздап ластану апатты жабдықтардың істен шығуына әкелуі мүмкін - сондықтан газ тазалығы қазір бұрынғыдан да маңызды.

Әдеттегі жартылай өткізгіштік қондырғы үшін, ультра жоғары тазалық газы кремнийдің өзінен кейінгі ең үлкен материалдық шығын болып табылады. Бұл шығындар жартылай өткізгіштерге жаңа биіктерге арналған сұраныс көбейеді деп күтілуде. Еуропадағы оқиғалар өте жоғары қысымды табиғи газ нарығына қосымша кедергі келтірді. Украина - әлемдегі ең үлкен таза тазалықтың бірінеонбелгілер; Ресейдің басып кіруі - сирек кездесетін газды жеткізу шектеулі. Бұл өз кезегінде жетіспеушілікке әкелді, мысалы, басқа да асыл газдардың қымбаттауыКриптонжінексенсон.