Көміртек тетрафториді (CF4)

Қысқаша сипаттама:

Тетрафторметан деп те аталатын көміртек тетрафториді қалыпты температура мен қысымда түссіз газ болып табылады, суда ерімейді. CF4 газы қазіргі уақытта микроэлектроника өнеркәсібінде ең көп қолданылатын плазмалық ою газы болып табылады. Ол сондай-ақ лазерлік газ, криогендік хладагент, еріткіш, майлағыш, оқшаулағыш материал және инфрақызыл детектор түтіктеріне арналған салқындатқыш ретінде қолданылады.


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Техникалық параметрлер

Техникалық сипаттама 99,999%
Оттегі+Аргон ≤1ppm
Азот ≤4 ppm
Ылғал (H2O) ≤3 ppm
HF ≤0,1 ppm
CO ≤0,1 ppm
CO2 ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
Галокарбиндер ≤1 ppm
Жалпы қоспалар ≤10 ppm

Көміртек тетрафториді - CF4 химиялық формуласы бар галогенделген көмірсутек. Оны галогенделген көмірсутек, галогенделген метан, перфторкөміртек немесе бейорганикалық қосылыс ретінде қарастыруға болады. Көміртек тетрафториді - түссіз және иіссіз газ, суда ерімейді, бензол мен хлороформда ериді. Қалыпты температура мен қысым кезінде тұрақты, күшті тотықтырғыштардан, тұтанғыш немесе жанғыш материалдардан аулақ болыңыз. Жанбайтын газ, жоғары температураға ұшыраған кезде контейнердің ішкі қысымы артады, жарылу және жарылу қаупі бар. Ол химиялық тұрғыдан тұрақты және жанбайды. Тек сұйық аммиак-натрий металл реагенті бөлме температурасында жұмыс істей алады. Көміртек тетрафториді - парниктік эффект тудыратын газ. Ол өте тұрақты, атмосферада ұзақ уақыт бола алады және өте қуатты парниктік газ болып табылады. Көміртек тетрафториді әртүрлі интегралды микросхемалардың плазмалық ою процесінде қолданылады. Ол сондай-ақ лазерлік газ ретінде қолданылады және төмен температуралы салқындатқыштарда, еріткіштерде, майлағыштарда, оқшаулағыш материалдарда және инфрақызыл детекторларға арналған салқындатқыштарда қолданылады. Бұл микроэлектроника өнеркәсібінде ең көп қолданылатын плазмалық ою газы. Бұл тетрафторметан жоғары тазалықтағы газ бен тетрафторметан жоғары тазалықтағы газ бен жоғары тазалықтағы оттегінің қоспасы. Оны кремний, кремний диоксиді, кремний нитриді және фосфосиликат шынысында кеңінен қолдануға болады. Вольфрам және вольфрам сияқты жұқа қабықшалы материалдарды ою электронды құрылғылардың бетін тазалауда, күн батареяларын өндіруде, лазерлік технологияда, төмен температуралы тоңазытуда, ағып кетуді тексеруде және баспа схемаларын өндіруде жуғыш зат ретінде кеңінен қолданылады. Интегралдық схемалар үшін төмен температуралы хладагент және плазмалық құрғақ ою технологиясы ретінде қолданылады. Сақтау кезіндегі сақтық шаралары: Салқын, желдетілетін жанбайтын газ қоймасында сақтаңыз. От пен жылу көздерінен алыс ұстаңыз. Сақтау температурасы 30°C-тан аспауы керек. Оны оңай (жанатын) жанғыш заттар мен тотықтырғыштардан бөлек сақтау керек және аралас сақтаудан аулақ болу керек. Сақтау аймағы ағып кетуді жедел жою жабдықтарымен жабдықталуы керек.

Қолдану:

① Салқындатқыш:

Тетрафторметан кейде төмен температуралы хладагент ретінде қолданылады.

  fdrgr Грег

2 Гравюра жасау:

Ол электрониканың микроөндірісінде жалғыз немесе оттегімен бірге кремний, кремний диоксиді және кремний нитриді үшін плазмалық сіңдіруші ретінде қолданылады.

dsgre rgg

Қалыпты пакет:

Өнім Көміртек тетрафторидіCF4
Қаптама өлшемі 40 литрлік цилиндр 50 литрлік цилиндр  
Толтыру таза салмағы/цилиндр 30 кг 38 келі  
Саны 20 футтық контейнерге тиелген 250 цилиндр 250 цилиндр
Жалпы таза салмақ 7,5 тонна 9,5 тонна
Цилиндр ыдысының салмағы 50 кг 55 кг
Клапан CGA 580

Артықшылығы:

①Жоғары тазалық, ең жаңа қондырғы;

2 ISO сертификатын өндіруші;

③Жылдам жеткізу;

④Әр қадамда сапаны бақылауға арналған онлайн талдау жүйесі;

⑤Цилиндрді толтырмас бұрын өңдеудің жоғары талаптары мен мұқият процесі;


  • Алдыңғы:
  • Келесі:

  • Хабарламаңызды осында жазып, бізге жіберіңіз