Техникалық сипаттама | 99,999% |
Оттегі+аргон | ≤1ppm |
Азот | ≤4 ppm |
Ылғалдылық(H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Галокарбиндер | ≤1 ppm |
Жалпы қоспалар | ≤10 ppm |
Көміртегі тетрафториді - CF4 химиялық формуласы бар галогенді көмірсутек. Оны галогенді көмірсутек, галогенделген метан, перфторкөміртек немесе бейорганикалық қосылыс ретінде қарастыруға болады. Көміртек тетрафториді – түссіз және иіссіз газ, суда ерімейді, бензолда және хлороформда ериді. Қалыпты температура мен қысымда тұрақты, күшті тотықтырғыштардан, жанғыш немесе жанғыш материалдардан аулақ болыңыз. Жанбайтын газ, жоғары қызу әсер еткенде ыдыстың ішкі қысымы артып, жарылып, жарылу қаупі бар. Ол химиялық тұрақты және жанбайтын. Бөлме температурасында тек сұйық аммиак-натрий металды реагент жұмыс істей алады. Көміртек тетрафториді - парниктік әсерді тудыратын газ. Ол өте тұрақты, атмосферада ұзақ уақыт бола алады және өте қуатты парниктік газ болып табылады. Көміртегі тетрафториді әртүрлі интегралды схемалардың плазмалық өрнектеу процесінде қолданылады. Ол сондай-ақ лазерлік газ ретінде пайдаланылады және төмен температуралы салқындатқыштарда, еріткіштерде, майлау материалдарында, оқшаулағыш материалдарда және инфрақызыл детекторларға арналған салқындатқыштарда қолданылады. Бұл микроэлектроника өнеркәсібінде ең көп қолданылатын плазмалық өңдеу газы. Бұл жоғары таза тетрафторметан газы мен жоғары таза тетрафторметан газы мен жоғары таза оттегі қоспасы. Оны кремний, кремний диоксиді, кремний нитриді және фосфосиликат шынысында кеңінен қолдануға болады. Вольфрам және вольфрам сияқты жұқа пленкалық материалдарды оюлау электронды құрылғылардың бетін тазалауда, күн батареяларын өндіруде, лазерлік технологияда, төмен температуралы тоңазытқышта, ағып кетуді тексеруде және баспа схемаларын өндіруде жуғыш затта кеңінен қолданылады. Интегралдық схемалар үшін төмен температуралы хладагент және плазмалық құрғақ өрнектеу технологиясы ретінде қолданылады. Сақтау кезіндегі сақтық шаралары: салқын, желдетілетін жанбайтын газ қоймасында сақтаңыз. От пен жылу көздерінен алыс ұстаңыз. Сақтау температурасы 30 ° C аспауы керек. Оны оңай (жанғыш) жанғыш заттар мен тотықтырғыштардан бөлек сақтау керек және аралас сақтаудан аулақ болу керек. Сақтау орны ағып кетуді авариялық тазарту жабдықтарымен жабдықталуы керек.
① Салқындатқыш:
Тетрафторметан кейде төмен температуралы салқындатқыш ретінде пайдаланылады.
② Ою:
Ол электроника микрофабрикасында жалғыз немесе оттегімен бірге кремний, кремний диоксиді және кремний нитриді үшін плазмалық еріткіш ретінде қолданылады.
Өнім | Көміртек тетрафторидіCF4 | ||
Пакет өлшемі | 40 литр цилиндр | 50 литр цилиндр | |
Толтыру таза салмағы/цил | 30кг | 38 кг | |
Саны 20'контейнерге салынған | 250 цилиндр | 250 цилиндр | |
Жалпы таза салмақ | 7,5 тонна | 9,5 тонна | |
Цилиндрдің салмағы | 50кг | 55 кг | |
Клапан | CGA 580 |
①Жоғары тазалық, соңғы қондырғы;
②ISO сертификатын өндіруші;
③Жылдам жеткізу;
④Әрбір қадамда сапаны бақылау үшін он-лайн талдау жүйесі;
⑤Жоғары талап және толтыру алдында цилиндрді өңдеудің мұқият процесі;